如何看待近期「硅 - 石墨烯 - 锗晶体管」研制成功?

[图片] 对传统晶体管有何影响?对未来晶体管发展有何作用? 文中提到的文献链接: https://www.nature.com/articles/s4…
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2019-11-12

双极性晶体管多半采用锗或硅材质制成,但锗晶体管的一个主要缺点是它容易产生热失控,由于锗的禁带宽度较窄,因此大多数现代的双极性晶体管是由硅制造的。HBT 的截止频率将最终被基区渡越时间所限制,而 HET 则受限于无孔、低阻的超薄金属基区的制备难题。所以科学家把脑筋动到了石墨烯,人们提出使用石墨烯作为基区材料制备晶体管,其原子级厚度将消除基区渡越时间的限制,同时其超高的「载流子迁移率」也有助于实现高质量的低阻基区

金属所科研人员提出半导体薄膜和石墨烯转移工艺,首次制备出以“肖特基结”作为发射结的垂直结构的硅-石墨烯-锗晶体管。

石墨烯基晶体管已被提出用于高频应用,因为石墨烯的原子厚度所引起的基极穿越时间可忽略不计。然而,通常使用的隧道发射极具有高的发射极势垒高度,这限制了晶体管向太赫兹工作的性能。为了克服这个问题,理论上已经提出了石墨烯基异质结晶体管,其中,石墨烯基被硅层夹在中间。在这里,他们演示了一种垂直硅-石墨烯-锗晶体管,其中实现了由单晶硅和单硅石墨烯构成的肖特基发射极。这种肖特基发射极的电流为 692A/cm2,电容为 41nF/cm2,因此,通过使用先前的隧道发射极,晶体管的 alpha 截止频率有望从约 1MHz 增加到高于 1.2GHz,随着进一步的工程设计,硅-石墨烯-锗晶体管有望成为超高频工作最有希望的器件之一。

什么是「基区材料」?基区是双极型晶体管(BJT)结构中的一个重要区域,BJT 是由两个背靠背的 PN 结组成的,这两个 PN 结中间的公共区域就是「基区」。基区宽度必须很小(小于基区中少数载流子的扩散长度),这才能形成一个有用的晶体管,否则放大性能太差(这也有利于提高频率和速度);同时,基区的掺杂浓度也必须小于发射区的掺杂浓度,否则同样性能也很差(但是基区掺杂浓度也不能太低,否则要影响频率、速度和噪声等性能)。一块半导体基片上制作两个相距很近的 PN 结,两个 PN 结把整块半导体分成三部分,两侧部分是发射区和集电区,中间部分是基区,而晶体管构造中,基区很薄且杂质浓度低。

双极型晶体管的内部构造。

那什么是「肖特基结」?肖特基结是一种简单的金属与半导体的交界面,它与 PN 结相似,具有非线性阻抗特性。不同金属与不同种类的半导体接触时,具有不同的肖特基势垒高度,势垒高度随外加电压变化。当金属接正电压时,空间电荷区中的电场减小,势垒降低,载流子容易通过;反之,势垒升高,载流子不易通过,因此肖特基结具有单向导电的整流特性。例如在太阳能电池中较多使用的是硅 PN 结,这是由于其制作工艺要相对简单。在石墨烯-硅太阳能电池中,将单层石墨烯放在硅片上,即可形成肖特基结(Schottky junction),在光照条件下,硅中会产生电子-空穴对(electron-hole pairs),然后光生电子和空穴分离(电子流朝着一个方向,空穴朝另一个反向运动),进而被带相反电荷的石墨烯和半导体接触器捕获,通过这种单向的电流流动,使设备发电。

石墨烯—硅太阳能电池光电转换效率实现突破。

考虑到产品附加值的问题,在石墨烯技术上我们不做低价的双极型晶体管,做的是单极型晶体管这类高频领域的电子器件,像是场效晶体管(Field Effect Transistor,FET)及金属氧化物半导体场效晶体管(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor,MOSFET)。因为双极型晶体管损耗大、价格便宜,仅能用在数字电路开关控制,不像 FET 或 MOS 晶体管用于高频高速电路,大电流场合以及对基极或漏极控制电流比较敏感的地方。其它像 MOS 晶体管可以做开关电路,也可以做模拟放大,用途更加广阔。而不论是使用机械剥离或是成长在触媒表面的石墨烯,都不需要将匣极限宽控制到只有数十纳米,便可以将截止频率(cut-off frequency)推展到 GHz,我实在不知道如何点评石墨烯双极型晶体管的发展性了。

不同射频元件的基本参数列表。
(a)在光学显微镜下的射频晶体管在4寸软性基板(PET)的阵列图。(b)SEM下的元件结构图。(c,d)不同形状的T型闸极结构图。


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