三甲基氯硅烷(分子式:(CH3)3SiCl),也称氯化三甲基硅烷、氯代三甲基硅烷、三甲基一氯硅烷,室八功源往台标格志温下为无色液体,是卤代硅烷的一种,在有来自机合成中有很多用途。它在无水情况360百科下稳定,但遇水即分解,及杀棉流快志科生成六甲基二硅氧烷和盐酸。由氯甲烷与硅粉在氯化亚铜存在下反应并精馏提纯获得,也可由既友轴维药伤面误似亲核性甲基试剂如甲基锂与四氯化硅发生亲核取代反应制得。