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Lee et al. and Yoo et al. furtherdemonstrated that both phase and morphological stability of NiSiformed on epitaxial Si1?yCycan be greatly enhanced by incorporat-ing Pt into the s...

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( N anj ing E lectronic D ev ices I nstitute , 2400 16) A bst ract :H eav ily phosphor — doped m icrocr y stal line S i1 ; F lH film s are pre— pa red fr om silance . te traf luor ide— ca...