四氟化碳,四氟甲烷,全氟甲烷,CF4
四氟化碳(四氟甲烷,CF4)产品质量标准(QUALITY STANDARD FOR CF4) 指标名称 高纯级 优级品 一级品 含量,%(v/v)≥ 99.99 99.9 99 氮气,%(v/v)≤ 0.002 0.03 0.3 氧气,%(v/v)≤ 0.0005 0.01 0.1 水...
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CF4和NF3的分解反应的研究 .pdf 淘豆网
73页发布时间:2016年1月28日
摘要CF4、NF3等全氟化合物(pounds)被广泛用作半导体工业的蚀刻气和清洗气,具有极高的温室效应潜值(GWP),如CF4的GWP为CO2的6500倍,在大气中的寿命长达50000年。无水条件下CF4、N...
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