磁控溅射
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薄膜沉积 磁控溅射法(原理篇) 知乎
本文是作者在学习路上一个简单的记录,也想和更多有需要的朋友分享交流,内容的也许会有许多不够完善的地方,希望各位大佬批评指出~共同进步文章导读:磁控溅射法具有设备...
知乎专栏
磁控溅射简介
2. 磁控溅射技术在光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻璃和透明导电玻璃等方面也得到应用。在透明导电玻璃在玻璃基片或柔性衬底上,溅射制备SiO2薄膜和掺杂ZnO或InSn氧化物(...
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磁控溅射技术制备ZnO透光薄膜
4页发布时间:2012年4月9日
采用RF磁控溅射方法,在玻璃衬底上制备了择优取向的ZnO薄膜;通过台阶仪,X射线衍射技术,原子力显微镜和分光光度计分别测量了不同溅射功率条件下淀积的ZnO薄膜厚度(淀积...
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